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网站快照南 昌 瀚 宸 新 材 料 科 技 有 限 公 司 客 服 一 ： 2 8 2 2 4 8 1 2 5 6 客 服 二 ： 2 3 2 7 9 8 2 5 1 5 邮 箱 一 ： s a l e s @ h c m e m s . c o m 邮 箱 二 ： x w b @ h c m e m s . c o m 联 系 电 话 ： 1 3 6 7 2 2 2 2 3 9 7 首 页 首 页 关 于 瀚 宸 关 于 瀚 宸 原 料 及 耗 材 原 料 及 耗 材 金 属 蒸 镀 颗 粒 / 金 属 靶 材 化 合 物 蒸 镀 颗 粒 / 靶 材 基 片 衬 底 电 子 化 学 品 M E M S 微 纳 加 工 M E M S 微 纳 加 工 抛 光 减 薄 打 孔 切 割 掺 杂 键 合 刻 蚀 镀 膜 光 刻 M E M S 器 件 M E M S 器 件 M E M S 开 关 器 件 光 波 导 芯 片 定 制 氮 化 硅 薄 膜 窗 格 微 流 控 器 件 / 芯 片 合 作 伙 伴 合 作 伙 伴 新 闻 动 态 新 闻 动 态 公 司 新 闻 行 业 动 态 联 系 我 们 联 系 我 们 选 择 站 点 语 言 首 页 关 于 瀚 宸 原 料 及 耗 材 金 属 蒸 镀 颗 粒 / 金 属 靶 材 化 合 物 蒸 镀 颗 粒 / 靶 材 基 片 衬 底 电 子 化 学 品 M E M S 微 纳 加 工 M E M S 器 件 合 作 伙 伴 新 闻 动 态 公 司 新 闻 行 业 动 态 联 系 我 们 M E M S 微 纳 加 工 方 案 及 代 工 抛 光 减 薄 打 孔 切 割 掺 杂 键 合 刻 蚀 镀 膜 光 刻 耗 材 及 原 料 供 应 金 属 蒸 镀 颗 粒 / 金 属 靶 材 化 合 物 蒸 镀 颗 粒 / 靶 材 基 片 衬 底 电 子 化 学 品 0 1 关 于 瀚 宸 新 材 专 业 、 专 注 、 担 当 、 创 新 南 昌 瀚 宸 新 材 料 科 技 有 限 公 司 ， 位 于 江 西 省 南 昌 市 国 家 高 新 开 发 区 内 ， 是 一 家 以 研 发 、 生 产 、 销 售 各 类 镀 膜 材 料 的 公 司 。 公 司 主 营 的 产 品 有 金 属 及 合 金 靶 材 、 陶 瓷 靶 材 、 蒸 发 镀 膜 料 、 基 片 衬 底 、 电 子 化 学 品 ， 微 纳 加 工 等 并 积 极 从 事 下 游 膜 技 术 的 开 发 及 应 用 。 我 司 材 料 应 用 于 航 天 航 空 、 工 业 镀 膜 、 电 子 工 程 、 光 学 光 电 和 通 讯 储 存 等 领 域 ， 积 累 了 良 好 的 口 碑 和 声 誉 。 热 诚 欢 迎 广 大 客 户 来 我 司 考 察 洽 谈 ！ 2 0 1 6 年 公 司 成 立 于 2 0 1 6 年 6 3 % 研 发 人 员 占 比 1 2 0 + 公 司 产 品 种 类 1 8 0 + 仪 器 设 备 1 8 0 台 套 1 2 0 0 ㎡ 实 验 室 占 地 面 积 1 2 0 0 ㎡ 了 解 更 多 原 料 及 耗 材 应 用 于 航 天 航 空 、 工 业 镀 膜 、 电 子 工 程 、 光 学 光 电 和 通 讯 储 存 等 领 域 金 属 蒸 镀 颗 粒 / 金 属 靶 材 高 纯 金 属 / 贵 金 属 / 难 溶 合 计 靶 材 / 金 属 形 状 加 工 化 合 物 蒸 镀 颗 粒 / 靶 材 化 合 物 / 氧 化 物 靶 材 / 化 合 物 靶 材 基 片 衬 底 类 硅 基 片 / 锗 基 片 / 蓝 宝 石 基 片 / 氮 化 镓 基 片 电 子 化 学 品 类 刻 蚀 液 类 / 光 刻 胶 / 显 影 液 金 属 蒸 镀 颗 粒 品 名 分 子 式 熔 点 / ℃ 沸 点 / ℃ 密 度 / （ g / c m 3 ） 纯 度 颗 粒 尺 寸 / m m 铝 颗 粒 A l 6 6 0 2 4 6 7 2 . 7 0 4 N , 5 N 3 * 3 , 2 * 2 或 定 制 钛 颗 粒 T i 1 6 6 0 3 2 8 7 4 . 5 4 3 N 4 N 3 * 3 , 5 * 2 或 定 制 铬 颗 粒 C r 1 8 5 7 2 6 7 2 7 . 1 9 3 N 5 1 1 0 不 规 则 颗 粒 钴 颗 粒 C o 1 4 9 5 2 8 7 0 8 . 9 3 N 5 3 * 3 ， 不 规 则 颗 粒 镍 颗 粒 N i 1 4 5 3 2 7 3 2 8 . 9 3 N 4 N 3 * 3 铜 颗 粒 C u 1 0 8 4 2 5 6 7 8 . 9 6 4 N 5 N 3 * 3 锌 颗 粒 Z n 4 1 9 9 0 7 7 . 1 3 4 N 3 8 不 规 则 颗 粒 锗 颗 粒 G e 9 3 7 2 8 3 0 5 . 3 2 5 N 锭 或 不 规 则 颗 粒 钼 颗 粒 M o 2 6 1 7 4 6 1 2 1 0 . 2 2 4 N 不 规 则 颗 粒 铟 颗 粒 I n 1 5 6 2 0 7 3 7 . 3 1 5 N 0 . 3 0 . 5 , 0 . 6 0 . 8 1 3 锡 颗 粒 S n 2 3 2 2 2 7 0 7 . 3 1 4 N 2 3 ， 不 规 则 颗 粒 金 颗 粒 A u 1 0 6 4 2 8 0 7 1 9 . 3 2 4 N 2 * 2 , 3 * 3 或 丝 状 银 颗 粒 A g 9 6 1 2 1 6 3 1 0 . 5 4 N 2 * 2 , 3 * 3 或 丝 状 铂 颗 粒 P t 1 7 7 2 3 8 2 7 2 1 . 4 5 3 N 5 2 * 2 , 3 * 3 或 丝 状 金 属 靶 材 品 名 分 子 式 熔 点 / ℃ 密 度 / （ g / c m 3 ） 纯 度 加 工 形 状 镁 靶 材 M g 6 4 9 1 . 7 3 4 N 圆 片 / 方 形 特 殊 按 图 加 工 铝 靶 材 A l 6 6 0 2 . 7 0 4 N , 5 N 圆 片 / 方 形 特 殊 按 图 加 工 钛 靶 材 T i 1 6 6 0 4 . 5 4 3 N 4 N 圆 片 / 方 形 特 殊 按 图 加 工 钒 靶 材 V 1 9 0 2 6 . 1 1 3 N 5 圆 片 / 方 形 特 殊 按 图 加 工 铬 靶 材 C r 1 8 5 7 7 . 1 9 3 N 5 圆 片 / 方 形 特 殊 按 图 加 工 锰 靶 材 M n 1 2 4 4 7 . 4 3 3 N 5 圆 片 / 方 形 特 殊 按 图 加 工 铁 靶 材 F e 1 5 3 5 7 . 8 7 3 N 圆 片 / 方 形 特 殊 按 图 加 工 钴 靶 材 C o 1 4 9 5 8 . 9 3 N 5 圆 片 / 方 形 特 殊 按 图 加 工 镍 靶 材 N i 1 4 5 3 8 . 9 3 N 4 N 圆 片 / 方 形 特 殊 按 图 加 工 铜 靶 材 C u 1 0 8 4 8 . 9 6 4 N 5 N 圆 片 / 方 形 特 殊 按 图 加 工 锌 靶 材 Z n 4 1 9 7 . 1 3 4 N 圆 片 / 方 形 特 殊 按 图 加 工 锗 靶 材 G e 9 3 7 5 . 3 2 5 N 圆 片 / 方 形 特 殊 按 图 加 工 钇 靶 材 Y 1 5 2 6 4 . 4 7 3 N 圆 片 / 方 形 特 殊 按 图 加 工 锆 靶 材 Z r 1 8 5 2 6 . 5 1 2 N 7 / 3 N 5 ( 结 晶 ) 圆 片 / 方 形 特 殊 按 图 加 工 铌 靶 材 N b 2 4 6 8 8 . 5 7 4 N 圆 片 / 方 形 特 殊 按 图 加 工 钼 靶 材 M o 2 6 1 7 1 0 . 2 2 4 N 圆 片 / 方 形 特 殊 按 图 加 工 铟 靶 材 I n 1 5 6 7 . 3 1 5 N 圆 片 / 方 形 特 殊 按 图 加 工 锡 靶 材 S n 2 3 2 7 . 3 1 4 N 圆 片 / 方 形 特 殊 按 图 加 工 锑 靶 材 S b 6 3 0 6 . 6 8 4 N 圆 片 / 方 形 特 殊 按 图 加 工 铪 靶 材 H f 2 2 2 7 1 3 . 3 1 2 N 7 / 3 N 5 ( 结 晶 ） 圆 片 / 方 形 特 殊 按 图 加 工 钽 靶 材 T a 2 9 9 6 1 6 . 6 5 3 N 5 圆 片 / 方 形 特 殊 按 图 加 工 钨 靶 材 W 3 4 0 7 1 9 . 3 5 3 N 5 圆 片 / 方 形 特 殊 按 图 加 工 铋 靶 材 B i 2 7 1 9 . 7 5 4 N 圆 片 / 方 形 特 殊 按 图 加 工 金 靶 材 A u 1 0 6 4 1 9 . 3 2 4 N 圆 片 / 方 形 特 殊 按 图 加 工 银 靶 材 A g 9 6 1 1 0 . 5 4 N 圆 片 / 方 形 特 殊 按 图 加 工 铂 靶 材 P t 1 7 7 2 2 1 . 4 5 3 N 5 圆 片 / 方 形 特 殊 按 图 加 工 化 合 物 蒸 镀 颗 粒 品 名 分 子 式 颜 色 蒸 发 度 / ℃ 密 度 / （ g / c m 3 ） 纯 度 折 射 率 5 5 0 n m 透 光 范 围 n m 蒸 发 源 应 用 膜 系 颗 粒 尺 寸 / m m 硫 化 锌 Z n S 淡 黄 色 1 1 0 0 4 . 1 9 9 . 9 9 2 . 3 2 . 4 3 5 0 1 4 5 0 E 红 外 滤 光 1 3 ， 3 1 0 ， 硒 化 锌 Z n S e 橘 黄 色 透 明 1 5 2 0 5 . 2 7 9 9 . 9 9 2 . 5 8 5 0 0 2 2 0 0 E ， B ( T a ， M o ) 红 外 偏 振 不 规 则 块 状 一 氧 化 硅 S i O 黑 色 1 7 0 0 2 . 1 3 9 9 . 9 9 % 1 . 5 5 8 0 0 8 0 0 0 B ( T a M o W ) 增 透 保 护 1 1 0 ， 1 0 2 0 二 氧 化 硅 S i O 2 无 色 透 明 1 7 0 0 2 . 2 9 9 . 9 9 % 1 . 4 6 2 0 0 2 5 0 0 E 增 透 多 层 1 5 二 氧 化 钛 T i O 2 黑 色 / 白 色 2 2 0 0 4 . 2 9 9 9 . 9 9 % 2 . 3 2 . 5 3 5 0 1 4 0 0 0 E 增 透 多 层 1 5 五 氧 化 三 钛 T i 3 O 5 茶 黑 色 1 5 0 0 2 2 0 0 4 . 8 9 9 9 . 9 9 % 2 . 0 5 4 0 0 1 2 0 0 0 E , B ( T a ) 增 透 多 层 1 5 二 氧 化 锆 Z r O 2 黑 / 白 色 2 7 1 5 5 . 8 9 9 9 . 9 9 % 1 . 9 7 2 . 0 5 2 5 0 9 0 0 0 E 增 透 多 层 1 5 三 氧 化 二 铝 A l 2 O 3 白 色 2 0 0 0 2 2 0 0 3 . 9 9 9 . 9 9 % 1 . 6 3 2 0 0 5 0 0 0 E 增 透 多 层 1 3 二 氟 化 镁 M g F 2 白 色 1 3 0 0 1 6 0 0 3 . 1 4 9 9 . 9 9 % 1 . 3 8 2 0 0 7 0 0 0 E B 增 透 多 层 1 3 五 氧 化 二 铌 N b 2 O 5 黑 色 1 7 0 0 4 . 4 7 9 9 . 9 9 % 2 . 3 3 5 0 9 0 0 0 E 增 透 多 层 1 4 五 氧 化 二 钽 T a 2 O 5 黑 色 1 9 5 0 8 . 2 9 9 . 9 9 % 2 . 1 4 0 0 7 0 0 0 E 增 透 多 层 1 3 2 4 三 氧 化 二 钇 Y 2 O 3 白 色 2 7 0 0 5 . 0 1 9 9 . 9 9 % 1 . 8 7 4 0 0 8 0 0 0 E 多 层 1 3 2 4 钛 酸 镧 L a 2 T i 2 O 7 黑 色 1 9 0 0 / 9 9 . 9 9 % 1 . 9 5 2 . 1 3 6 0 7 0 0 0 E 增 透 多 层 1 4 三 氧 化 二 铬 C r 2 O 3 绿 色 2 4 5 0 5 . 2 1 9 9 . 9 9 % 2 . 4 1 2 0 0 1 0 0 0 E 导 电 膜 1 4 一 氧 化 钛 T i O 灰 色 1 8 0 0 4 . 8 9 9 9 . 9 9 % 2 . 3 2 . 5 4 0 0 1 2 0 0 0 E B 增 透 多 层 1 5 氧 化 铟 锡 I T O 灰 黑 1 9 0 0 / 9 9 . 9 9 % 2 . 0 4 0 0 1 0 0 0 E 导 电 膜 圆 柱 / 颗 粒 化 合 物 靶 材 合 金 系 列 A l C u , A l C r , A l M g , A l S i , A l S i C u , A l A g , A l V , C a N i C r F e , C a N i C r F e M o M n , C e G d , C e S m , C r S i , C o C r , C o C r M o , C o F e , C o F e B , C o N i , C o N i C r , C o P t , C o N b Z r , C o T a Z r , C o Z r , C r V , C r B , C r S i , C r C u , C u C o , C u G a , C u I n , C u N i , C o N i P t , C u Z r , D y F e , D y F e C o , F e B , F e C , F e M n , G d F e , G d F e C o , H f F e , I r M n , I r R e , I n S n , M o S i , N i A l , N i C r , N i C r S i , N d D y F e C o , N i F e , N i M n , N i N b T i , N i T i , N i V , S m C o , A g C u , A g S n , T a A l , T b D y F e , T b F e , T b F e C o , T b G d F e C o , T i A l , T i N i , T i C r , W R e , W T i , W C u , Z r A l , Z r C u , Z r F e , Z r N b , Z r N i , Z r T i , Z r Y , Z n A l , Z n M g 采 用 高 纯 单 质 金 属 ， 熔 炼 或 粉 末 冶 金 工 艺 ， 后 经 机 械 加 工 处 理 成 型 ， 表 面 车 加 工 磨 光 公 差 ： + / 0 . 2 m m 规 格 ： 圆 片 / 方 型 尺 寸 根 据 客 户 要 求 定 制 硼 化 物 靶 材 C r 2 B , C r B , C r B 2 , C r 5 B 3 , F e B , H f B 2 , L a B 6 , M o 2 B , M o 2 B 5 , N b B , N b B 2 , T a B , T a B 2 , T i B 2 , W 2 B , W B , V B , V B 2 , Z r B 2 采 用 高 纯 粉 末 ， 粉 末 热 压 工 艺 ， 后 经 机 械 加 工 处 理 成 型 提 供 靶 材 绑 定 服 务 公 差 ： + / 0 . 2 m m 规 格 ： 圆 片 / 方 型 尺 寸 根 据 客 户 要 求 定 制 碳 化 物 靶 材 B 4 C , C r 3 C 2 , H f C , M o 2 C , N b C , S i C , T a C , T i C , W C , W 2 C , V C , Z r C 氮 化 物 靶 材 A l N , B N , G a N , H f N , N b N , S i 3 N 4 , T a N , T i N , V N , Z r N 氧 化 物 靶 材 A l 2 O 3 , S b 2 O 3 , A T O , B a T i O 3 , B i 2 O 3 , C e O 2 , C u O , C r 2 O 3 , D y 2 O 3 , E r 2 O 3 , E u 2 O 3 , G d 2 O 3 , G a 2 O 3 , G e O 2 , H f O 2 , H o 2 O 3 , I n 2 O 3 , I T O , F e 2 O 3 , F e 3 O 4 , L a 2 O 3 , P b T i O 3 , P b Z r O 3 , L i N b O 3 , L u 3 F e 5 O 1 2 , L u 2 O 3 , M g O , M o O 3 , N d 2 O 3 , P r 6 O 1 1 , P r ( T i O 2 ) 2 , P r 2 O 3 , S m 2 O 3 , S c 2 O 3 , S i O 2 , S i O , S r T i O 3 , S r Z r O 3 , T a 2 O 5 , T b 4 O 7 , T e O 2 , T h O 2 , T m 2 O 3 , T i O 2 , T i O , T i 3 O 5 , T i 2 O 3 , S n O 2 , S n O W O 3 , V 2 O 5 , Y A G , Y 3 A l 5 O 1 2 , Y b 2 O 3 , Y 2 O 3 , Z n O 等 硅 基 片 S i 晶 体 结 构 面 心 立 方 熔 点 1 4 2 0 ° 密 度 2 . 4 g / c m 3 晶 型 N / P / 本 征 晶 向 ， , 电 阻 率 0 . 0 0 1 0 . 1 Ω . c m ， 0 . 1 1 Ω . c m ， 1 1 0 Ω . c m ， 1 0 5 0 Ω . c m ， 1 0 0 1 0 0 0 Ω . c m ， > 1 0 0 0 Ω . c m ， > 1 0 0 0 0 Ω . c m 氧 含 量 ≤ （ 1 1 . 8 ） * 1 0 1 8 c m 3 碳 含 量 ≤ 5 * 1 0 1 6 尺 寸 直 径 ： 1 英 寸 ， 2 英 寸 ， 3 英 寸 ， 4 英 寸 ， 6 英 寸 等 厚 度 ： 0 . 3 0 . 5 m m 1 m m 可 按 照 客 户 需 求 定 制 特 殊 尺 寸 基 片 抛 光 单 面 或 双 面 抛 光 包 装 1 盒 2 5 片 ， 特 殊 尺 寸 1 0 0 级 洁 净 袋 锗 基 片 G e 9 9 . 9 9 9 % 生 长 方 法 提 拉 法 晶 体 结 构 立 方 密 度 5 . 3 2 3 g / c m 3 熔 点 9 3 7 . 4 ° 掺 杂 物 质 不 掺 杂 掺 S b 掺 I n 或 G a 类 型 N / P 电 阻 率 0 . 0 5 Ω . c m 0 . 0 5 0 . 1 Ω . c m ＞ 3 5 Ω . c m 尺 寸 直 径 ： 2 英 寸 ， 3 英 寸 ， 4 英 寸 厚 度 ： 0 . 5 m m ， 1 m m ， 2 m m 晶 相 , 包 装 1 0 0 级 洁 净 袋 蓝 宝 石 基 片 晶 体 结 构 六 方 晶 系 熔 点 2 0 4 0 ° 密 度 3 . 9 8 g / c m 3 晶 型 A R M C 晶 向 ， , 热 导 率 0 . 0 5 5 （ 2 3 ℃ ） 0 . 0 4 0 （ 7 7 ℃ ） 热 膨 胀 系 数 7 . 5 * 1 0 6 介 电 常 数 9 . 4 @ 3 0 0 K a t A a x i s ~ 1 1 . 5 8 @ 3 0 0 K a t C a x i s 尺 寸 1 0 × 3 , 1 0 × 5 ， 1 0 × 1 0 , 1 5 × 1 5 ， 2 0 × 1 5 ， 2 0 × 2 0 ， 可 按 照 客 户 需 求 定 制 特 殊 尺 寸 基 片 抛 光 单 面 或 双 面 抛 光 表 面 粗 糙 度 R a 包 装 P a c k a g e d i n a c l a s s 1 0 0 c l e a n r o o m e n v i r o n m e n t , i n s i n g l e w a f e r c o n t a i n e r s , u n d e r a n i t r o g e n a t m o s p h e r e . 氮 化 镓 基 片 晶 体 取 向 C a x i s ( 0 0 0 1 ) ± 0 . 5 ° 导 电 类 型 N 型 电 阻 率 位 错 密 度 L e s s t h a n 5 x 1 0 6 c m 2 有 效 面 积 大 于 9 0 % 尺 寸 1 0 × 1 0 . 5 ， 1 4 * 1 5 ， 厚 度 ： 3 0 0 , 3 5 0 , 4 0 0 u m 可 按 照 客 户 需 求 定 制 特 殊 尺 寸 基 片 抛 光 F r o n t S u r f a c e : R a B a c k S u r f a c e : F i n e g r o u n d 包 装 P a c k a g e d i n a c l a s s 1 0 0 c l e a n r o o m e n v i r o n m e n t , i n s i n g l e w a f e r c o n t a i n e r s , u n d e r a n i t r o g e n a t m o s p h e r e . 刻 蚀 液 类 品 牌 产 地 品 名 型 号 应 用 T R A N S E N E 美 国 镍 刻 蚀 液 T F B 标 准 镍 蚀 刻 液 用 于 蒸 镀 镍 薄 膜 T F G 高 纯 蚀 刻 液 用 于 电 沉 积 镍 薄 膜 ， 与 铜 、 砷 化 镓 及 其 他 三 五 族 化 合 物 相 适 应 T Y P E 1 高 纯 蚀 刻 液 用 于 镍 、 镍 铁 合 金 及 某 些 不 锈 钢 金 刻 蚀 液 T F A 高 纯 度 、 低 钠 、 0 . 2 u m 过 滤 的 蚀 刻 液 可 用 于 半 导 体 和 微 电 子 领 域 ， 蚀 刻 金 和 镍 。 T F A C 选 择 性 的 蚀 刻 液 可 用 于 砷 化 镓 及 其 他 三 五 族 金 属 间 化 合 物 和 半 导 体 G E 8 1 4 8 选 择 性 的 蚀 刻 液 可 在 镍 膜 使 用 ， 较 快 的 蚀 刻 速 率 。 可 消 除 在 种 子 层 快 速 的 侧 向 蚀 刻 。 G E 8 1 1 0 控 制 蚀 刻 速 度 ， 可 在 镍 膜 使 用 。 G E 8 1 1 1 低 p H 值 ， 慢 蚀 刻 速 率 ， 与 镍 相 适 应 。 金 银 清 洗 液 使 用 蚀 刻 液 前 预 清 洗 镍 铬 刻 蚀 液 T F N 最 小 化 的 底 切 、 优 异 的 精 细 线 条 控 制 ， 一 致 化 操 作 银 刻 蚀 液 T F S 选 择 性 的 银 蚀 刻 液 ， 与 负 性 及 正 性 光 刻 胶 相 适 合 ， 用 于 薄 膜 微 电 子 开 发 电 路 元 件 铬 刻 蚀 液 1 0 2 0 蚀 刻 速 率 快 、 最 小 化 底 切 ， 适 合 于 高 精 度 光 刻 掩 膜 版 蚀 刻 1 0 2 0 A C 蚀 刻 速 率 慢 以 消 除 底 切 ， 具 有 广 泛 的 相 适 性 C R E 4 7 3 与 铜 、 镍 、 金 以 及 钼 薄 膜 相 适 应 C E 5 M 理 想 的 高 精 度 光 刻 掩 膜 版 蚀 刻 液 T F E 用 于 铬 硅 薄 膜 ， 与 铜 薄 膜 相 适 应 C E 8 0 0 2 A 铬 蚀 刻 液 C E 8 0 0 2 A 是 铈 铵 / 醋 酸 基 蚀 刻 液 ， 用 于 铬 基 板 蚀 刻 ， 蚀 刻 速 度 慢 而 没 有 底 切 。 通 常 室 温 下 蚀 刻 时 间 2 0 6 0 秒 。 C E 8 0 0 1 N 铬 蚀 刻 液 C E 8 0 0 1 N 是 硝 酸 铈 铵 / 硝 酸 基 蚀 刻 液 ， 用 于 所 有 类 型 的 铬 基 板 蚀 刻 ， 蚀 刻 速 度 由 基 板 中 铬 密 度 和 工 艺 条 件 决 定 。 通 常 室 温 下 蚀 刻 时 间 1 5 5 5 秒 。 这 种 蚀 刻 液 也 有 添 加 了 表 面 活 性 剂 的 铬 蚀 刻 液 C E 8 0 0 1 N S 供 应 钌 蚀 刻 液 R U 4 4 钌 蚀 刻 液 R U 4 4 是 硝 酸 铈 铵 / 硝 酸 基 蚀 刻 液 ， 用 于 所 有 类 型 的 蒸 镀 钌 薄 膜 的 蚀 刻 。 蚀 刻 速 度 由 基 板 中 钌 密 度 和 工 艺 条 件 决 定 。 通 常 室 温 下 蚀 刻 时 间 1 5 5 5 秒 。 这 种 蚀 刻 液 也 有 添 加 了 表 面 活 性 剂 的 钌 蚀 刻 液 R U 4 4 S 供 应 。 钌 蚀 刻 液 R U 4 4 适 合 于 亚 微 米 光 刻 应 用 。 如 果 需 要 快 速 蚀 刻 ， 铬 陶 瓷 蚀 刻 液 T F E 可 以 使 用 铝 刻 蚀 液 T Y P E A 标 准 铝 蚀 刻 液 用 于 硅 器 件 和 其 他 微 电 子 应 用 T Y P E D 标 准 铝 蚀 刻 液 用 于 砷 化 镓 、 砷 和 磷 化 镓 器 件 以 及 镍 铬 电 阻 上 铝 金 属 化 膜 的 制 作 T Y P E F 铝 蚀 刻 液 F 型 是 一 种 稳 定 的 蚀 刻 液 ， 可 用 于 在 硅 器 件 上 及 集 成 电 路 应 用 中 蚀 刻 铝 或 铝 硅 金 属 化 膜 。 铝 蚀 刻 液 F 型 具 有 独 特 的 性 质 可 以 很 容 易 地 克 服 许 多 在 铝 蚀 刻 时 遇 到 的 问 题 如 金 属 残 留 等 印 刷 电 路 板 铜 蚀 刻 液 T Y P E 1 0 0 用 于 浸 没 式 蚀 刻 T Y P E 2 0 0 用 于 喷 雾 蚀 刻 技 术 A P S 1 0 0 用 于 薄 膜 和 印 刷 电 路 板 T Y P E 4 9 1 铜 蚀 刻 液 4 9 1 是 一 种 高 纯 的 、 可 控 的 蚀 刻 液 ， 用 于 特 殊 微 电 子 蚀 刻 如 砷 化 镓 或 铜 。 铜 蚀 刻 液 B T P 可 进 行 快 速 蚀 刻 ， 同 时 保 持 了 镍 的 相 适 性 B T P 钯 蚀 刻 液 T F P 钯 蚀 刻 液 T F P 设 计 用 于 溅 射 、 蒸 镀 和 非 电 镀 沉 积 薄 膜 蚀 刻 高 分 辨 图 案 轮 廓 ， 这 些 薄 膜 普 遍 用 于 硅 片 的 镍 和 金 的 金 属 化 薄 膜 的 阻 挡 层 E C 钯 蚀 刻 液 E C 主 要 用 于 钯 基 板 的 高 精 细 电 化 学 蚀 刻 ， 合 金 如 钯 银 也 可 很 容 易 蚀 刻 。 电 化 学 蚀 刻 可 在 基 板 材 料 上 精 细 、 准 确 地 蚀 刻 钛 蚀 刻 液 T F T 设 计 用 于 蚀 刻 通 常 用 做 粘 接 和 阻 挡 层 的 蒸 镀 膜 ， 优 异 的 分 辨 率 、 光 刻 胶 相 适 性 以 及 最 小 化 的 底 切 T F T N 主 要 用 于 蚀 刻 玻 璃 或 二 氧 化 硅 基 板 上 沉 积 的 钛 薄 膜 ， 不 含 氢 氟 酸 钛 钨 蚀 刻 液 T i W 3 0 钛 钨 蚀 刻 液 T i W 3 0 适 用 于 微 电 子 制 作 中 钛 钨 粘 接 层 的 选 择 性 蚀 刻 液 ， 可 有 效 地 蚀 刻 沉 积 在 氮 化 硅 或 二 氧 化 硅 表 面 的 钛 钨 薄 膜 ， 具 有 优 异 的 蚀 刻 精 度 和 蚀 刻 速 度 控 制 ， 与 正 负 性 光 刻 胶 广 泛 的 适 应 性 氧 化 铁 掩 膜 版 蚀 刻 液 M E 1 0 固 体 器 件 制 作 非 常 依 靠 使 用 光 刻 技 术 制 备 图 案 . 标 准 蚀 刻 液 M E 3 0 固 体 器 件 制 作 非 常 依 靠 使 用 光 刻 技 术 制 备 图 案 . 节 约 成 本 的 蚀 刻 液 钼 蚀 刻 液 T F M 用 于 半 导 体 和 微 电 子 技 术 的 钼 薄 膜 金 属 化 层 的 选 择 性 蚀 刻 液 光 刻 胶 及 显 影 液 品 名 型 号 规 格 包 装 规 格 单 位 备 注 光 刻 胶 1 0 1 0 2 5 0 m l / 瓶 5 0 0 m l / 瓶 1 L / 瓶 瓶 1 0 4 0 1 0 5 0 1 0 6 0 1 0 7 0 M i c r o c h e m 光 刻 胶 S U 8 5 5 0 0 m l / 瓶 1 L / 瓶 4 L / 瓶 瓶 现 货 S U 8 5 0 S U 8 1 0 0 S U 8 2 0 0 0 . 5 S U 8 2 0 0 2 S U 8 2 0 0 5 S U 8 2 0 0 7 S U 8 2 0 1 0 S U 8 2 0 1 5 S U 8 2 0 2 5 S U 8 2 0 3 5 S U 8 2 0 5 0 S U 8 2 0 7 5 S U 8 2 1 0 0 S U 8 2 1 5 0 S U 8 3 0 1 0 S U 8 3 0 2 5 S U 8 3 0 3 5 P M G I S F 3 5 0 0 m l / 瓶 瓶 P M G I S F 6 4 9 5 P M M A A 2 5 0 0 m l / 瓶 瓶 4 9 5 P M M A A 4 5 0 0 m l / 瓶 瓶 9 5 0 P M M A A 2 5 0 0 m l / 瓶 1 L / 瓶 瓶 9 5 0 P M M A A 4 5 0 0 m l / 瓶 1 L / 瓶 4 L / 瓶 瓶 9 5 0 P M M A A 5 5 0 0 m l / 瓶 1 L / 瓶 瓶 9 5 0 P M M A A 6 5 0 0 m l / 瓶 1 L / 瓶 瓶 K M P R 1 0 1 0 5 0 0 m l / 瓶 瓶 K M P R 1 0 2 5 5 0 0 m l / 瓶 1 L / 瓶 瓶 K M P R 1 0 5 0 5 0 0 m l / 瓶 1 L / 瓶 瓶 稀 释 剂 S U 8 2 0 0 0 T h i n n e r 1 L / 瓶 1 加 仑 / 瓶 瓶 增 粘 剂 O m n i c a o t 5 0 0 m l / 瓶 1 L / 瓶 瓶 瓶 显 影 液 M I B K / I P A 1 : 3 4 L / 瓶 瓶 显 影 液 S U 8 D e v 1 L / 瓶 瓶 去 胶 液 r e m o v e r P G 4 L / 瓶 瓶 D O W / S h i p l e y 光 刻 胶 S P R 2 2 0 3 加 仑 / 瓶 瓶 S P R 2 2 0 7 1 加 仑 / 瓶 瓶 1 L / 瓶 瓶 5 0 0 m l / 瓶 瓶 2 5 0 m l / 瓶 瓶 1 2 5 m l / 瓶 瓶 6 0 m l / 瓶 瓶 S P R 9 5 5 0 . 7 1 加 仑 / 瓶 瓶 1 L / 瓶 瓶 5 0 0 m l / 瓶 瓶 2 5 0 m l / 瓶 瓶 1 2 5 m l / 瓶 瓶 6 0 m l / 瓶 瓶 S 1 8 0 5 G 2 1 加 仑 / 瓶 瓶 1 L / 瓶 瓶 5 0 0 m l / 瓶 瓶 2 5 0 m l / 瓶 瓶 1 2 5 m l / 瓶 瓶 6 0 m l / 瓶 瓶 S 1 8 1 3 1 加 仑 / 瓶 瓶 1 L / 瓶 瓶 5 0 0 m l / 瓶 瓶 2 5 0 m l / 瓶 瓶 1 2 5 m l / 瓶 瓶 6 0 m l / 瓶 瓶 S 1 8 1 8 G 1 加 仑 / 瓶 瓶 5 0 0 m l / 瓶 瓶 2 5 0 m l / 瓶 瓶 1 2 5 m l / 瓶 瓶 6 0 m l / 瓶 瓶 L C 1 0 0 A 2 0 C P 加 仑 / 瓶 瓶 m c p r 2 7 0 0 5 0 c p 加 仑 / 瓶 瓶 S 9 9 2 0 G 加 仑 / 瓶 瓶 显 影 液 M F 3 1 9 5 L / 瓶 瓶 显 影 液 M F C D 2 6 2 0 L / 瓶 瓶 去 胶 液 M i c r o p o s i t R e m o v e r 1 1 6 5 加 仑 / 瓶 瓶 稀 释 剂 T H I N N E R T Y P E 1 加 仑 / 瓶 瓶 增 粘 剂 P r i m e r 5 0 0 m l / 瓶 瓶 A Z 光 刻 胶 A Z 5 2 1 4 1 加 仑 / 瓶 瓶 现 货 1 L / 瓶 瓶 5 0 0 m l / 瓶 瓶 2 5 0 m l / 瓶 瓶 A Z 6 1 3 0 1 加 仑 / 瓶 瓶 2 5 0 m l / 瓶 瓶 A Z 4 6 2 0 1 加 仑 / 瓶 加 仑 现 货 1 L / 瓶 瓶 7 5 0 m l / 瓶 瓶 5 0 0 m l / 瓶 瓶 2 5 0 m l / 瓶 瓶 6 0 m l / 瓶 瓶 A Z 1 5 0 0 加 仑 / 瓶 瓶 A Z 6 1 1 2 加 仑 / 瓶 瓶 A Z 4 5 6 2 5 L / 瓶 瓶 A Z 5 0 X T 夸 脱 / 瓶 瓶 A Z M I R 7 0 1 1 加 仑 / 瓶 瓶 A Z M I R 7 0 3 1 加 仑 / 瓶 瓶 A Z n L O F 2 0 7 0 加 仑 / 瓶 m l 显 影 液 A Z 3 0 0 M I F D e v e l o p e r 2 0 L / 桶 桶 显 影 液 A Z 4 0 0 K 加 仑 / 瓶 瓶 去 胶 液 A Z 4 0 0 T 2 0 L / 桶 桶 F u t u r r e x 光 刻 胶 S O G I C 1 2 0 0 2 5 0 m l / 瓶 瓶 N R 7 2 5 0 P 2 5 0 m l / 瓶 瓶 N R 7 2 5 0 P 夸 脱 / 瓶 瓶 N R 7 6 i 1 5 0 0 ( P Y N R 7 7 1 5 0 0 P Y ) 2 5 0 m l / 瓶 瓶 N R 2 6 2 5 0 0 0 P ( N R 2 1 2 0 0 0 P ) 2 5 0 m l / 瓶 瓶 N R 2 1 2 0 0 0 0 P 4 L / 瓶 瓶 N R 7 1 5 0 0 P Y 2 5 0 m l / 瓶 1 L / 瓶 瓶 瓶 N R 9 1 5 0 0 P Y 夸 脱 / 瓶 瓶 N R 9 1 5 0 0 P Y 3 2 盎 司 / 瓶 ( 美 制 = 2 9 . 7 m l ) 瓶 N R 9 3 0 0 0 P Y 4 L / 瓶 瓶 N R 9 3 0 0 0 P 3 2 盎 司 / 瓶 ( 美 制 = 2 9 . 7 m l ) 瓶 N R 9 6 0 0 0 P 2 5 0 m l / 瓶 瓶 N R 9 8 0 0 0 5 0 0 m l / 瓶 瓶 N R 9 8 0 0 0 1 L / 瓶 瓶 P R 1 1 0 0 0 A 1 2 5 0 m l / 瓶 瓶 显 影 液 R e s i s t D e v e l o p e r R D 6 4 L / 瓶 瓶 去 胶 液 R e s i s t R e m o v e r R R 4 1 4 L / 瓶 瓶 光 刻 胶 D u r i m e d e 1 1 5 A 2 5 0 g / 瓶 瓶 D u r i m e d e 1 1 6 A 2 5 0 g / 瓶 瓶 F B 5 4 1 0 2 5 0 m l / 瓶 瓶 P I 7 5 0 5 2 5 0 m l / 瓶 瓶 P I 7 5 1 0 2 5 0 m l / 瓶 瓶 L T C 9 5 1 0 2 5 0 m l / 瓶 瓶 显 影 液 H T R D 2 4 L / 瓶 瓶 漂 洗 液 R E R 6 0 0 4 L / 瓶 瓶 M i c o r e s i s t 光 刻 胶 O r m o C o m p 1 0 0 g / 瓶 瓶 M I N S 3 0 1 R M 2 0 0 g / 瓶 瓶 m a N 4 0 5 2 5 0 m l / 瓶 瓶 m a N 4 4 0 2 5 0 m l / 瓶 瓶 m a D 3 3 2 / S 2 . 5 L / 瓶 瓶 显 影 液 m a D 5 2 5 2 . 5 L / 瓶 瓶 显 影 液 m a D 5 2 5 5 L / 瓶 瓶 去 胶 液 m r R e m 6 6 0 2 . 5 L / 瓶 瓶 光 刻 胶 B C B 3 0 2 2 3 5 0 . 8 k g / 瓶 瓶 光 刻 胶 B C B 3 0 2 2 4 6 0 . 8 k g / 瓶 瓶 增 粘 剂 A P 3 0 0 0 3 . 4 8 k g / 瓶 瓶 增 粘 剂 A P 8 0 0 0 3 . 4 8 k g / 瓶 瓶 光 刻 胶 T D M R A R 8 0 1 加 仑 / 瓶 瓶 光 刻 胶 K X N 5 7 3 5 L 0 1 加 仑 / 瓶 瓶 5 0 0 m l / 瓶 瓶 2 5 0 m l / 瓶 瓶 1 2 5 m l / 瓶 瓶 6 0 m l / 瓶 瓶 4 0 m l / 瓶 瓶 光 刻 胶 A P P 3 2 5 0 2 5 0 m l / 瓶 瓶 A P 3 0 0 2 6 1 L / 瓶 瓶 光 刻 胶 F O X 1 6 1 2 5 m l / 瓶 瓶 负 性 电 子 束 光 刻 胶 X R 1 5 4 1 0 0 2 1 2 5 m l / 瓶 瓶 负 性 电 子 束 光 刻 胶 X R 1 5 4 1 0 0 4 1 2 5 m l / 瓶 瓶 负 性 电 子 束 光 刻 胶 X R 1 5 4 1 0 0 6 1 2 5 m l / 瓶 瓶 正 性 电 子 束 光 刻 胶 R E 3 0 0 . 2 0 . 5 1 0 0 g / 瓶 瓶 正 性 电 子 束 光 刻 胶 R E 3 0 0 . 7 . 4 1 0 0 g / 瓶 瓶 正 性 电 子 束 光 刻 胶 R E 3 0 0 . 7 . 5 1 0 0 g / 瓶 瓶 正 性 电 子 束 光 刻 胶 R E 3 0 0 . 4 0 . 5 1 0 0 m l / 瓶 瓶 R E 3 0 0 . 9 5 . 3 1 0 0 m l / 瓶 瓶 R E 3 0 0 . 9 5 . 5 1 0 0 m l / 瓶 瓶 正 性 电 子 束 光 刻 胶 P M M A 9 5 0 K 1 0 0 g / 瓶 瓶 正 性 电 子 束 光 刻 胶 P M M A 7 0 0 K 1 0 0 g / 瓶 瓶 电 子 束 光 刻 胶 Z E P 5 2 0 （ R D Z ） 1 0 0 m l / 瓶 瓶 Z E P 5 2 0 A （ R D Z ） 夸 脱 / 瓶 瓶 1 0 m l / 瓶 瓶 3 0 m l / 瓶 瓶 5 0 m l / 瓶 瓶 1 0 0 m l / 瓶 瓶 显 影 液 Z E D N 5 0 （ Z D ） 加 仑 / 瓶 瓶 去 胶 液 Z D M A C ( Z C ) 加 仑 / 瓶 瓶 显 影 液 T M A H 2 5 % 4 L / 瓶 瓶 稀 释 剂 P G M E A 4 L / 瓶 瓶 去 胶 液 N M P 4 L / 瓶 瓶 增 粘 剂 H M D S 5 0 0 m l / 瓶 瓶 硅 胶 P D M S 1 . 1 k g 套 M E M S 微 纳 加 工 我 司 可 根 据 客 户 要 求 定 制 微 米 及 纳 米 掩 模 板 及 压 印 模 板 ， 基 底 可 为 硅 基 金 属 基 及 P D M S 软 模 板 抛 光 减 薄 打 孔 切 割 掺 杂 键 合 刻 蚀 镀 膜 光 刻 了 解 更 多 查 看 详 情 M E M S 器 件 微 纳 模 板 加 工 ， P D M S ， P M M A ， S I ， 特 别 推 荐 耐 用 的 金 属 模 板 M E M S 开 关 器 件 光 波 导 芯 片 定 制 氮 化 硅 薄 膜 窗 格 微 流 控 器 件 / 芯 片 了 解 更 多 查 看 详 情 M E M S 微 纳 加 工 M E M S 器 件 合 作 伙 伴 新 闻 动 态 更 多 新 闻 2 0 2 4 0 3 2 8 热 烈 庆 祝 南 昌 瀚 宸 新 材 料 科 技 有 限 公 司 官 网 搭 建 成 功 ！ 南 昌 瀚 宸 新 材 料 科 技 有 限 公 司 ， 位 于 江 西 省 南 昌 市 国 家 高 新 开 发 区 内 ， 是 一 家 以 研 发 、 生 产 、 销 售 各 类 镀 膜 材 料 的 公 司 。 公 司 主 营 的 产 品 有 金 属 及 合 金 靶 材 、 陶 瓷 靶 材 、 蒸 发 镀 膜 料 、 基 片 衬 底 、 电 子 化 学 品 ， 微 纳 加 工 等 并 积 极 从 事 下 游 膜 技 术 的 开 发 及 应 用 。 2 0 2 4 0 3 2 8 热 烈 庆 祝 南 昌 瀚 宸 新 材 料 科 技 有 限 公 司 官 网 搭 建 成 功 ！ 南 昌 瀚 宸 新 材 料 科 技 有 限 公 司 ， 位 于 江 西 省 南 昌 市 国 家 高 新 开 发 区 内 ， 是 一 家 以 研 发 、 生 产 、 销 售 各 类 镀 膜 材 料 的 公 司 。 公 司 主 营 的 产 品 有 金 属 及 合 金 靶 材 、 陶 瓷 靶 材 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