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电子设备嘉兴科民电子产品分类加热型(TALD)原子层沉积系统粉末型(PALD)光刻机刻蚀机溅射机嘉兴科民电子设备技术有限公司


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嘉兴科民电子设备技术有限公司海外微电子设备制造团队与中科院微电子所8室专家共同成立,国内原子层沉积(ALD)设备制造商,符合半导体行业6S管理规定的生产场地,标准化生产 严格的设备工艺验证,保证每台设备的质量


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2 0 1 5 0 7 1 4 清 华 大 学 专 家 解 读 三 部 委 光 伏 新 政 : 薄 膜 技 术 是 未 来 2 0 1 5 0 7 0 6 拉 伸 二 硫 化 钼 晶 体 造 出 能 隙 可 变 半 导 体 2 0 1 5 0 7 0 1 中 科 院 化 学 所 在 太 阳 能 电 池 材 料 与 器 件 研 究 方 面 取 得 2 0 1 5 0 6 2 4 研 究 人 员 成 功 印 刷 超 薄 有 机 电 子 元 件 2 0 1 5 0 6 2 3 教 育 部 科 技 司 一 行 来 科 民 视 察 2 0 1 5 0 6 1 9 中 科 院 上 海 分 院 一 行 来 科 民 视 察 2 0 1 5 0 6 0 4 科 民 A L D 设 备 进 驻 中 国 科 学 技 术 大 学 2 0 1 5 0 6 0 4 科 民 A L D 设 备 进 驻 哈 尔 滨 工 业 大 学 2 0 1 5 0 5 2 0 适 用 集 成 电 路 的 片 上 微 电 池 问 世 2 0 1 5 0 5 1 4 薄 膜 发 电 引 领 终 极 能 源 革 命 2 0 1 5 0 4 3 0 构 建 物 联 网 蓝 牙 技 术 联 盟 推 出 “ B l u e t o o t h D e v e l o p e r S t u d i o ” 2 0 1 5 0 4 2 1 i n c e l l 技 术 更 新 迭 代 f u l l i n c e l l 有 望 成 主 流 2 0 1 5 0 4 1 5 从 C H I P 到 V I A V I C O R 进 一 步 推 进 数 据 中 心 电 源 模 块 化 2 0 1 5 0 4 1 4 手 机 一 分 钟 充 满 电 这 会 是 电 池 革 命 吗 ? 2 0 1 5 0 4 1 3 有 机 L E D 和 碳 纳 米 管 未 来 或 点 亮 布 料 2 0 1 5 0 4 0 9 微 芯 片 上 首 次 实 现 量 子 隐 形 传 态 2 0 1 5 0 4 0 9 C E A L e t i 开 发 单 芯 片 C o o l C u b e 3 D 技 术 2 0 1 5 0 4 0 8 光 伏 国 内 市 场 实 现 转 型 2 0 1 5 0 4 0 7 储 能 系 统 政 策 有 望 出 台 利 好 光 伏 产 业 链 2 0 1 5 0 3 1 3 中 国 M E M S 和 传 感 器 现 状 2 0 1 5 0 3 1 0 2 0 1 5 年 的 光 伏 建 设 目 标 为 何 会 多 了 5 G W ? 2 0 1 5 0 3 0 2 L E D 照 明 颠 覆 技 术 : L E D 灯 无 须 交 流 电 只 要 双 绞 线 连 接 ? 2 0 1 5 0 2 1 2 光 伏 组 件 效 率 太 低 可 能 拿 不 到 国 家 补 贴 2 0 1 5 0 2 1 0 科 学 家 将 在 芯 片 上 实 现 量 子 纠 缠 2 0 1 5 0 1 3 0 李 强 一 行 视 察 嘉 兴 科 民 电 子 2 0 1 4 0 4 1 4 科 民 助 推 微 纳 光 电 子 集 成 技 术 及 设 备 发 展 联 手 北 大 、 浙 江 中 科 院 应 用 技 术 研 究 院 打 造 微 纳 光 电 子 联 合 实 验 室 2 0 1 3 1 2 2 0 嘉 兴 : 自 主 创 新 自 费 创 业 2 0 1 3 1 2 0 9 科 民 公 司 产 品 成 功 进 入 美 国 市 场 2 0 1 2 1 0 2 0 黑 硅 ( 多 晶 ) 太 阳 电 池 研 究 再 获 突 破 , 转 换 效 率 逼 近 1 8 % 2 0 1 2 1 0 2 0 嘉 兴 科 民 公 司 高 端 A L D 力 助 复 旦 科 学 家 实 现 重 大 原 始 创 新 2 0 1 2 1 0 2 0 北 大 用 A L D 研 制 出 1 5 纳 米 碳 纳 米 管 C M O S 器 件 2 0 1 2 1 0 2 0 科 技 与 产 业 会 商 促 进 光 伏 新 技 术 应 用 “ 浙 江 省 太 阳 能 光 伏 发 电 产 业 技 术 联 盟 ” 筹 备 会 议 顺 利 召 开 2 0 1 2 1 0 2 0 科 民 A L D 设 备 进 驻 清 华 富 士 康 纳 米 中 心 2 0 1 2 1 0 2 0 科 研 与 公 益 同 步 开 放 平 台 科 技 为 民 2 0 1 2 1 0 1 9 科 民 · 应 用 案 例 原 子 层 沉 积 ( A L D ) 设 备 等 高 端 半 导 体 设 备 、 全 套 半 导 体 线 的 研 发 和 生 产 热 烈 祝 贺 科 民 电 子 2 0 套 集 成 电 路 设 备 成 功 进 入 厦 门 大 学 产 教 融 合 平 台 科 民 电 子 集 成 电 路 产 教 融 合 成 套 设 备 含 曝 光 机 、 双 腔 A L D 、 P V D 、 I C P 刻 蚀 机 共 2 0 台 助 力 北 大 北 京 大 学 成 功 制 备 性 能 优 越 的 碳 纳 米 管 C M O S 器 件 。 我 们 提 供 了 关 键 的 H f O 2 高 k 栅 介 质 低 温 制 备 方 案 热 烈 祝 贺 科 民 电 子 2 0 套 集 成 电 路 设 备 成 功 进 入 厦 门 大 学 产 教 融 合 平 台 科 民 电 子 集 成 电 路 产 教 融 合 成 套 设 备 含 曝 光 机 、 双 腔 A L D 、 P V D 、 I C P 刻 蚀 机 共 2 0 台 科 民 ·   产 品 中 心 原 子 层 沉 积 ( A L D ) 设 备 等 高 端 半 导 体 设 备 、 全 套 半 导 体 线 的 研 发 和 生 产 T A L D 1 5 0 L 原 子 层 沉 积 系 统 T A L D 1 5 0 L 原 子 层 沉 积 系 统 T A L D 1 5 0 L 原 子 层 沉 积 系 统 1 、 最 低 反 应 温 度 ≤ 5 0 ℃ ( H f O 2 、 A l 2 O 3 ) ; 2 、 均 匀 流 场 , 低 温 工 艺 颗 粒 少 ; 3 、 深 宽 比 ≥ 7 0 : 1 , 保 型 生 长 。 所 属 分 类 : 原 子 层 沉 积 系 统 ( T A L D ) 刻 蚀 机 I C P 1 0 0 刻 蚀 机 I C P 1 0 0 刻 蚀 机 I C P 1 0 0 刻 蚀 机 R I E 1 0 0 刻 蚀 机 R I E 1 0 0 刻 蚀 机 R I E 1 0 0 磁 控 溅 射 台 P V D 1 0 0 磁 控 溅 射 台 P V D 1 0 0 双 腔 热 型 原 子 层 沉 积 机 T A L D D 系 列 双 腔 热 型 原 子 层 沉 积 机 T A L D D 系 列 3 6 5 n m L E D 光 源 曝 光 机 3 6 5 n m L E D 光 源 曝 光 机   走 进 科 民 海 外 微 电 子 设 备 制 造 团 队 与     中 科 院 微 电 子 所     8 室 专 家 共 同 成 立 更 多 + 科 民 · 新 闻 中 心 原 子 层 沉 积 ( A L D ) 设 备 等 高 端 半 导 体 设 备 、 全 套 半 导 体 线 的 研 发 和 生 产 公 司 新 闻 行 业 新 闻 2 0 2 4 1 1 0 6 热 烈 庆 祝 科 民 电 子 董 事 长 夏 洋 研 究 员 在 新 能 源 材 料 与 光 电 国 际 研 讨 会 上 发 表 《 原 子 层 沉 积 技 术 及 其 钙 钛 矿 光 伏 产 业 应 用 》 主 题 报 告 2 0 2 3 0 5 1 9 热 烈 祝 贺 “ 嘉 兴 科 民 电 子 ” 成 为 “ 第 四 届 全 国 纳 米 技 术 标 准 委 员 会 ” 成 员 单 位 2 0 2 2 0 6 2 8 科 民 电 子 成 功 开 发 出 金 银 币 的 高 耐 磨 特 性 工 艺 2 0 2 2 1 1 0 7 研 究 院 数 字 经 济 研 究 所 召 开 创 新 平 台 建 设 及 创 新 项 目 组 织 筹 备 会 议 2 0 2 2 1 0 0 9 科 民 电 子 董 事 长 夏 洋 荣 获 第 三 届 中 国 科 学 院 “ 科 苑 名 匠 ” 称 号 为 了 培 育 选 树 具 有 行 业 顶 尖 技 能 水 平 的 科 技 创 新 先 进 典 型 , 大 力 弘 扬 劳 模 精 神 、 劳 动 精 神 、 工 匠 精 神 和 科 学 家 精 神 , 进 一 步 激 发 广 大 科 技 工 作 者 建 功 立 业 的 积 极 性 、 主 动 性 和 创 造 性 , 1 0 月 8 日 , 中 国 科 学 院 工 会 举 办 中 国 科 学 院 第 三 届 “ 科 苑 名 匠 ” 发 布 活 动 , 全 院 共 1 2 个 团 队 和 7 名 个 人 被 授 予 中 国 科 学 院 第 三 届 “ 科 苑 名 匠 ” 称 号 。 科 民 电 子 董 事 长 夏 洋 荣 获 中 国 科 学 院 第 三 届 “ 科 苑 名 匠 ” 称 号 。 夏 洋 老 师 长 期 专 注 于 集 成 电 路 技 术 及 装 备 研 究 , 为 微 电 子 所 仪 器 设 备 研 发 中 心 创 始 人 、 嘉 兴 科 民 电 子 设 备 技 术 有 限 公 司 董 事 长 , 带 领 研 究 团 队 瞄 准 国 家 战 略 需 求 , 突 破 了 多 项 关 键 核 心 技 术 。 他 在 不 断 的 努 力 与 尝 试 中 攻 坚 克 难 , 在 多 项 国 家 重 大 科 技 计 划 项 目 中 承 担 微 电 子 仪 器 设 备 的 研 发 工 作 , 成 功 开 发 出 原 子 层 沉 积 系 统 、 浸 没 式 等 离 子 注 入 机 、 电 感 耦 合 等 离 子 体 刻 蚀 机 、 3 6 5 纳 米 i 线 曝 光 机 等 集 成 电 路 装 备 , 同 时 研 发 出 原 创 变 电 场 原 子 层 沉 积 、 吸 附 反 应 外 延 等 装 备 , 实 现 了 我 国 集 成 电 路 高 端 设 备 的 重 大 突 破 。 研 发 的 仪 器 设 备 在 国 内 外 科 研 单 位 销 售 超 千 台 , 有 力 的 支 撑 了 中 科 院 、 北 京 大 学 、 清 华 大 学 等 百 余 家 高 校 院 所 的 前 沿 科 学 研 究 , 同 时 通 过 核 心 技 术 支 持 和 促 进 了 我 国 多 家 集 成 电 路 装 备 龙 头 企 业 的 发 展 。 作 为 一 名 老 师 , 他 为 了 能 让 学 生 更 直 观 的 了 解 和 掌 握 微 电 子 仪 器 操 作 方 法 , 配 套 专 业 课 程 专 门 研 发 了 集 成 电 路 系 列 科 教 融 合 设 备 , 采 用 创 新 的 “ 讲 授 + 实 验 ” 教 学 模 式 , 为 集 成 电 路 工 艺 技 术 培 养 了 大 量 的 工 程 性 专 业 人 才 。 公 益 项 目 案 例 展 示 在 线 客 服 在 线 客 服 / > 在 线 客 服 / > 客 服 热 线 1 5 3 5 6 6 0 6 7 8 7 1 5 3 5 6 6 0 6 7 8 7 服 务 时 间 : 8 : 0 0 1 8 : 0 0 客 服 组 : 科 民 市 场 部 客 服 组 : 在 线 客 服 网 站 首 页 产 品 中 心 原 子 层 沉 积 ( A L D ) 刻 蚀 机 ( R I E I C P ) 磁 控 溅 射 机 ( P V D ) 光 刻 机 ( M a s k A l i g n e r ) 等 离 子 体 化 学 气 相 沉 积 ( P E C V D ) 集 束 型 薄 膜 沉 积 系 统 ( c l u s t e r ) A L D 专 用 前 驱 体 源 应 用 案 例 精 品 案 例 新 品 案 例 A L D 技 术 走 进 科 民 科 民 介 绍 荣 誉 资 质 新 闻 资 讯 公 司 新 闻 行 业 新 闻 视 频 中 心 员 工 风 采 领 导 视 频 科 民 产 品 更 多 + 联 系 我 们 合 作 伙 伴 联 系 方 式 人 才 培 养 电 话 : 0 5 7 3 8 2 5 8 3 3 9 9           1 5 3 5 6 6 0 6 7 8 7 邮 箱 : s a l e s @ k e m i c r o . c o m           K M c a i g o u @ k e m i c r o . c o m C o p y r i g h t © 嘉 兴 科 民 电 子 设 备 技 术 有 限 公 司 技 术 声 明         浙 I C P 备 2 0 2 1 0 0 0 8 0 7 号 1   网 站 建 设 : 中 企 动 力     嘉 兴

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